《 반도체 공정에 사용하고 있는 불산이란 무엇인가? 》 화학을 전공하였던 사람중에 황산이나, 질산, 염산등은 많이 다루어 보았으나 불산의 경우는 거의 다루는 경우가 없을 것이다. 나도 학창시절에 불산을 딱 한번 경험을 해봤는데, 대부분의 산들은 갈색 유리병에 담겨있으나 불산만은 플라스틱병에 담겨져 있었다. 왜냐하면 불산은 유리를 녹이는 성질이 있기 때문에 SiO2(이산화규소,실리콘옥사이드)가 주성분인 유리병에는 불산을 보관할수가 없다. 유리와 불산의 화학적인 반응식은 다음과 같다. SiO2(유리의 주성분) +4HF(불산) → SiF4(사불화 규소) + 2H2O(물) 앞서서 말하였지만 유리에는 SiO2가 무게비로 50~80% 들어가는 주재료로 SiO2(이산화규소) 1개가 4개의 HF(불산)과 만나서 SiF..
