EUV용 포토레지스트의 21년 1~5월의 대일 의존도는 85.2%, 20년 88.6%, 19년 91.9%. 대일 의존도가 줄어든 것으로 보이나 벨기에 주재 일본 기업으로부터의 우회 수입이 전년도 5.8%에서 9.8%로 늘어난 점을 감안하면 그 차이는 오차 수준. 불화 폴리아미드의 21년 1~5월의 대일 의존도는 93.6%, 전년 동기 93.9%. 연간 데이터로는 19년 93.0%, 20년 93.8% 로 오히려 증가. 상대적으로 생산하기 쉬운 불화수소의 21년 1~5월의 대일 의존도는 13.0%. 전년 동기 12.3%. 19년 동기 43.9% 에 비하면 30%이상 떨어졌으나 이는 수입량을 기준으로 하는 집계이며, 수입액으로 환산하면 포토레지스트가 +6.0%, 불화 폴리아미드가 +10.6%, 불화수소가 +1..
