《 반도체 산업에 대해 알아보자 (7) 》 산화공정을 마친 실리콘 웨이퍼는 포토와 식각 공정을 거쳐 산화된 실리콘에서 필요한 부분을 제거한다. 이번 시간은 포토 공정만을 간단히 살펴보자. 포토(Photo) 공정은 사진공정이라고 하는데 이후 식각공정에서 사용될 산성(Acid)액으로 부터 실리콘 옥사이드를 보호하기 위해 필수적인 공정이다. 포토 공정에서 먼저 감광액을 산화가 된 웨이퍼 위에 도포(Deposition)을 하고 건조를 한다. 감광(感光液)액이란 말속에도 들어 있듯이 자외선 같은 빛에 닿으면 반응하여 화학적인 구조가 변하는 액체를 말한다. 일반적으로 Monomer 성분이 자외선을 받게 되면 감광액 속에 Initiator(개시자)가 들어 있어 Monomer를 자극하게 되고 이것이 소위 말하는 연쇄작..
